Capteur presyon semi-conducteurs souvan itilize itilize N-tip Silisyòm wafer kòm substra a.Premyèman, silisyòm wafer la te fè nan yon pati elastik ki bay estrès ak yon jeyometri sèten.Nan pati ki bay estrès nan wafer Silisyòm lan, kat rezistans difizyon P-kalite yo fèt sou diferan direksyon kristal, ak Lè sa a, yon pon Wheatstone kat-bra fòme ak kat rezistans sa yo.Anba aksyon an nan fòs ekstèn, chanjman yo nan valè rezistans vin siyal elektrik.Sa a pon wheatstone ak efè presyon se kè a nan Capteur a presyon, ki anjeneral yo rele pon piezoresistive (jan yo montre nan Figi 1).Karakteristik pon piezoresistive yo se jan sa a: ① valè rezistans nan kat bra yo nan pon an egal (tout r0);② Efè piezoresistive bra adjasan pon an egal nan valè ak opoze nan siy;③ Koyefisyan tanperati rezistans nan kat bra pon an se menm bagay la, epi yo toujou nan menm tanperati a.Nan fig.1, R0 se valè rezistans san estrès nan tanperati chanm;RT se chanjman ki te koze pa koyefisyan tanperati rezistans (α) lè tanperati a chanje;Υ Rδ se chanjman nan rezistans ki te koze pa souch (ε);Vòltaj pwodiksyon pon an se u = I0 Δ Rδ = I0RGδ (pon sous aktyèl konstan).

Ki kote I0 se konstan aktyèl sous aktyèl ak e se konstan vòltaj sous vòltaj.Vòltaj pèsistans yap ogmante jiska pon piezoresistive a dirèkteman pwopòsyonèl pou souch (ε) e pa gen anyen pou li wè ak RT ki te koze pa tanperati koyefisyan rezistans, ki redwi anpil tanperati dérive de materyèl detèktè a.Capteur presyon semi-conducteurs ki pi lajman itilize se yon Capteur pou detekte presyon likid.Estrikti prensipal li se yon kapsil ki fèt ak Silisyòm monokristalin (jan yo montre nan Figi 2).Se dyafram la te fè nan yon tas, ak anba a nan gode a se pati a ki pote fòs la ekstèn, ak pon an presyon fèt sou anba a nan gode a.Se pedestal la bag te fè nan menm materyèl la kristal sèl Silisyòm, ak Lè sa a, se dyafram nan estokaj ak pedestal la.Sa a kalite Capteur presyon gen avantaj ki genyen nan sansiblite segondè, ti volim ak solidite, e li te lajman itilize nan avyasyon, navigasyon espas, enstriman automatisation ak enstriman medikal.