Estrikti nan Capteur Piezoresistive

Nan Capteur sa a, se teren an rezistans entegre sou dyafram nan Silisyòm monokristalin pa pwosesis entegrasyon fè yon chip piezoresistive Silisyòm, ak periferik la nan chip sa a se fikse pake nan koki a, ak kondwi yo elektwòd yo te dirije soti.Capteur presyon piezorezistif, ke yo rele tou Capteur presyon solid-eta, diferan de kalib adezif souch, ki bezwen santi fòs ekstèn lan endirèkteman nan eleman elastik sansib, men dirèkteman santi presyon an mezire nan dyafram Silisyòm.

Yon bò nan dyafram nan Silisyòm se yon kavite segondè-presyon kominike ak presyon an mezire, ak lòt bò a se yon kavite ki ba-presyon kominike ak atmosfè a.Anjeneral, dyafram nan Silisyòm fèt kòm yon sèk ak periferik fiks, ak rapò a nan dyamèt ak epesè se apeprè 20 ~ 60. Kat P bann rezistans enpurte yo gaye lokalman sou dyafram nan Silisyòm sikilè ak konekte nan yon pon plen, de nan yo. yo nan zòn nan estrès konpresiv ak de lòt yo nan zòn nan estrès tansyon, ki se simetrik ak respè sant la nan dyafram nan.

Anplis de sa, gen tou kare Silisyòm dyafram ak Capteur kolòn Silisyòm.Se Silisyòm silendrik Capteur a tou te fè nan bann rezistan pa difizyon nan yon sèten direksyon nan yon avyon kristal nan silenn lan Silisyòm, ak de bandes reziste estrès tansyon ak de bann reziste estrès konpresiv fòme yon pon plen.

Capteur piezoresistif se yon aparèy ki fèt pa rezistans difizyon sou substra materyèl semi-conducteurs selon efè piezoresistive materyèl semi-conducteurs.Substra li yo ka dirèkteman itilize kòm yon Capteur mezire, ak rezistans nan difizyon konekte nan substra a nan fòm lan nan yon pon.

Lè substra a defòme pa fòs ekstèn, valè rezistans yo pral chanje ak pon an ap pwodwi pwodiksyon dezekilib korespondan.Substra yo (oswa dyafram) yo itilize kòm detèktè piezoresistive yo se sitou silisyòm gauf ak wafers germanium.Silisyòm detèktè piezoresistive te fè nan gauf Silisyòm kòm materyèl sansib yo te atire pi plis ak plis atansyon, espesyalman detèktè yo piezoresistive solid-eta pou mezire presyon ak vitès yo pi lajman itilize.