Estrikti nan Capteur piezoresistive

Nan sa a Capteur, se teren an rezistans entegre sou dyafram nan monokristalin silisyòm pa pwosesis entegrasyon fè yon chip silisyòm piezoresistive, ak periferik la nan chip sa a se fiks pake nan koki a, ak mennen yo electrodes yo te dirije soti. Capteur presyon piezoresistive, ke yo rele tou solid-eta Capteur presyon, se diferan de kalib adezif souch, ki bezwen yo santi fòs la ekstèn endirèkteman nan eleman elastik sansib, men dirèkteman santi l presyon an mezire nan dyafram Silisyòm.

Yon bò nan dyafram nan Silisyòm se yon kavite presyon ki wo kominike ak presyon an mezire, ak lòt bò a se yon kavite ki ba-presyon kominike ak atmosfè a. Anjeneral, se dyafram nan Silisyòm ki fèt tankou yon sèk ak periferik fiks, ak rapò a nan dyamèt epesè se sou 20 ~ 60. Kat p ki pa gen malse rezistans yo difize lokalman sou dyafram nan Silisyòm sikilè ak konekte nan dyaman yo.

Anplis de sa, gen tou kare dyafram Silisyòm ak Capteur kolòn Silisyòm. Se Silisyòm silendrik Capteur a tou te fè nan bann rezistans pa difizyon nan yon direksyon sèten nan yon plan kristal nan silikon silikon an, ak de rupture estrès rezistans bann ak de estrès konpresiv rezistans bann fòme yon pon plen.

Capteur piezoresistive se yon aparèy ki fèt pa rezistans difizyon sou substra a nan materyèl semi -conducteurs dapre efè a piezoresistive nan materyèl semi -conducteurs. Ka substra li yo dwe dirèkteman itilize kòm yon Capteur mezire, epi li se rezistans a difizyon ki konekte nan substra a nan fòm lan nan yon pon.

Lè se substra a defòme pa fòs ekstèn, valè yo rezistans pral chanje ak pon an pral pwodwi korespondan pwodiksyon dezekilib. Substrats yo (oswa dyafram) yo itilize kòm detèktè piezoresistive yo se sitou gato Silisyòm ak gato germanium. Silisyòm detèktè piezoresistive te fè nan gato Silisyòm kòm materyèl sansib te atire plis ak plis atansyon, espesyalman solid-eta detèktè yo piezoresistive pou mezire presyon ak vitès yo ki pi lajman itilize yo.