Detèktè presyon semi-conducteurs ka divize an de kategori, youn ki baze sou prensip la ki I-υ karakteristik nan semi-conducteurs PN Junction (oswa Schottky Junction) chanje anba estrès. Pèfòmans sa a eleman presyon sansib se trè enstab epi yo pa te devlope anpil. Lòt la se Capteur a ki baze sou semi -conducteurs efè piezoresistive, ki se varyete prensipal la nan semi -conducteurs presyon Capteur. Nan jou yo byen bonè, mezi semi -conducteurs souch yo te sitou tache ak eleman elastik fè divès kalite estrès ak souch enstriman mizik mezire. Nan lane 1960, ak devlopman nan semi -conducteurs teknoloji sikwi entegre, yon Capteur presyon semi -conducteurs ak rezistans difizyon kòm eleman piezoresistive parèt. Sa a kalite Capteur presyon gen estrikti senp ak serye, pa gen okenn pati k ap deplase relatif, ak eleman nan presyon sansib ak eleman elastik nan Capteur a yo entegre, ki evite lag mekanik ak fluaj ak amelyore pèfòmans nan Capteur la.

Efè piezoresistive nan semi -conducteurs semi -conducteurs gen yon karakteristik ki gen rapò ak fòs ekstèn, se sa ki, rezistivite a (reprezante pa senbòl ρ) chanje ak estrès la li pote, ki te rele efè piezoresistive. Chanjman relatif nan rezistivite anba aksyon an nan estrès inite yo rele koyefisyan piezoresistive, ki se eksprime pa senbòl la π. Eksprime matematik kòm ρ/ρ = π σ.

Kote σ reprezante estrès. Chanjman nan valè rezistans (R/R) ki te koze pa rezistans semi -conducteurs anba estrès se sitou detèmine pa chanjman nan rezistivite, se konsa ekspresyon an nan efè piezoresistive tou pou ekri kòm R/R = πσ.

Anba aksyon an nan fòs ekstèn, sèten estrès (σ) ak souch (ε) yo pwodwi nan kristal semi -conducteurs, ak relasyon ki genyen ant yo detèmine pa modil Young a (y) nan materyèl la, se sa ki, y = σ/ε.

Si se efè a piezoresistive eksprime pa souch lan sou semi -conducteurs a, li se R/R = Gε.

G yo rele faktè a sansiblite nan Capteur presyon, ki reprezante chanjman an relatif nan valè rezistans anba souch inite.

Koyefisyan piezoresistive oswa faktè sansiblite se paramèt debaz fizik nan efè semi -conducteurs piezoresistive. Relasyon ki genyen ant yo, jis tankou relasyon ki genyen ant estrès ak souch, yo detèmine pa modil Young la nan materyèl la, se sa ki, g = π y.

Paske nan anisotropi a nan kristal semi -conducteurs nan Elastisite, modil Young a ak koyefisyan piezoresistive chanje ak oryantasyon kristal. Mayitid nan efè semi -conducteurs piezoresistive tou pre relasyon ak rezistivite a nan semi -conducteurs. Pi ba a rezistivite a, ki pi piti a faktè a sansiblite. Se efè a piezoresistive nan rezistans difizyon detèmine pa oryantasyon an kristal ak konsantrasyon malpwòpte nan rezistans difizyon. Konsantrasyon an malpwòpte sitou refere a konsantrasyon nan salte sifas nan kouch nan difizyon.