Aplikab a Passat gaz komen tren presyon Capteur 06E906051K

1. Yon metòd pou fòme yon Capteur presyon, ki gen ladann:

Bay yon substra semi-conducteurs, kote yon kouch dielectric premye kouch, yon kouch dielectric premye ak yon kouch dezyèm kouch dielectric yo fòme sou substra a semiconductor.

Yon plak elektwòd ki pi ba nan premye kouch dyelèktrik entèrkouch la, yon premye elektwòd mityèl ki sitiye sou menm kouch ak plak elektwòd ki pi ba a ak espace apa.

Konekte kouch;

Fòme yon kouch sakrifis anlè plak polè ki pi ba a;

Fòme yon plak elektwòd anwo sou premye kouch dyelèktrik la, premye kouch entèkoneksyon an ak kouch sakrifis la;

Apre fòme kouch sakrifis la ak anvan fòme plak anwo a, nan premye kouch entèkoneksyon an

Fòme yon Groove koneksyon, epi ranpli Groove koneksyon an ak plak anwo a pou konekte elektrik ak premye kouch entèkoneksyon an; Oswa,

Apre yo fin fòme plak elektwòd anwo a, genyen siyon ki konekte nan plak elektwòd anwo a ak premye kouch entèkoneksyon an, ki

Fòme yon kouch kondiktif ki konekte plak elektwòd anwo a ak premye kouch entèkoneksyon an nan Groove koneksyon an;

Apre elektrik konekte plak anwo a ak premye kouch entèkoneksyon an, retire kouch sakrifis la pou fòme yon kavite.

2. Metòd pou fòme yon Capteur presyon selon reklamasyon 1, kote nan premye kouch la

Metòd pou fòme kouch sakrifis la sou kouch dyelèktrik entèrkouch la gen etap sa yo:

Depoze yon kouch materyèl sakrifis sou premye kouch interlayer dyelèktrik la;

Modèl kouch materyèl sakrifis la pou fòme yon kouch sakrifis.

3. Metòd pou fòme Capteur presyon selon reklamasyon 2, kote fotolitografi ak engraving yo itilize.

Se kouch materyèl sakrifis la modele pa pwosesis grave.

4. Metòd pou fòme yon Capteur presyon selon reklamasyon 3, kote kouch sakrifis la

Materyèl la se kabòn amorphe oswa germanium.

5. Metòd pou fòme yon Capteur presyon selon reklamasyon 4, kote kouch sakrifis la

Materyèl la se kabòn amorphe;

Etching gaz yo itilize nan pwosesis pou grave kouch materyèl sakrifis la gen ladan O2, CO, N2 ak Ar;

Paramèt yo nan pwosesis la nan grave kouch materyèl sakrifis yo se: seri a koule nan O2 se 18 SCCM ~ 22 SCCM, ak pousantaj koule nan CO se 10%.

Pousantaj koule a varye ant 90 SCCM ak 110 SCCM, to koule nan N2 varye ant 90 SCCM ak 110 SCCM, ak to koule nan Ar.

Ranje a se 90 SCCM ~ 110 SCCM, ranje presyon an se 90 mtor ~ 110 mtor, ak pouvwa patipri a se

540w ~ 660w.