Aplikab a pasat gaz komen tren presyon Capteur 06E906051K

1. Yon metòd pou fòme yon Capteur presyon, comprenant:

Bay yon substrate semi -conducteurs, kote yon premye entèrlayer kouch dielèktrik, yon premye entèraksyon kouch dielèktrik ak yon dezyèm entèraksyon kouch dielèktrik yo ki te fòme sou substrate a semi -conducteurs.

Yon plak electrodes pi ba nan premye kouch nan entèrlayer dielèktrik, yon premye electrodes mityèl ki sitiye sou kouch nan menm jan ak plak la electrodes pi ba ak espace apa.

Konekte kouch;

Fòme yon kouch sakrifis pi wo a plak la pi ba polè;

Fòme yon plak electrodes anwo sou premye entèrlayer kouch la dielèktrik, premye kouch nan interconnexion ak kouch nan sakrifis;

Apre fòme kouch nan sakrifis ak anvan fòme plak la anwo, nan premye kouch nan interconnection

Fòme yon Groove koneksyon, ak ranpli Groove nan koneksyon ak plak la anwo a elektrik konekte ak premye kouch nan interconnexion; Oswa,

Apre fòme plak la electrodes anwo, konekte genyen siyon yo te fòme nan plak la electrodes anwo ak premye kouch nan interconnexion, ki

Fòme yon kouch kondiktè ki konekte plak la electrodes anwo ak premye kouch nan interconnexion nan Groove nan koneksyon;

Apre elektrik konekte plak la anwo ak premye kouch nan interconnexion, retire kouch nan sakrifis yo fòme yon kavite.

2. Metòd la pou fòme yon Capteur presyon dapre reklamasyon 1, kote nan kouch nan premye

Metòd la pou fòme kouch nan sakrifis sou kouch nan entèrlayer dielèktrik konprann etap sa yo:

Depoze yon kouch materyèl sakrifis sou premye entèrlayer kouch la dielèktrik;

Modèl kouch nan materyèl sakrifis yo fòme yon kouch sakrifis.

Yo te metòd la pou fòme Capteur a presyon dapre reklamasyon 2, kote fotolitografi ak grave yo te itilize.

Se kouch nan materyèl sakrifis modele pa pwosesis grave.

4. Metòd la pou fòme yon Capteur presyon dapre reklamasyon 3, kote kouch nan sakrifis

Materyèl la se kabòn amorphe oswa germanium.

5. Metòd la pou fòme yon Capteur presyon dapre reklamasyon 4, kote kouch nan sakrifis

Materyèl la se kabòn amorphe;

Gaz grave yo itilize nan pwosesis la nan grave kouch nan materyèl sakrifis gen ladan O2, CO, N2 ak AR;

Paramèt yo nan pwosesis la nan grave kouch nan materyèl sakrifis yo se: ranje a koule nan O2 se 18 SCCM ~ 22 SCCM, ak pousantaj la koule nan CO se 10%.

Pousantaj nan koule chenn nan 90 SCCM 110 SCCM, pousantaj la koule nan N2 chenn nan 90 SCCM 110 SCCM, ak pousantaj la koule nan AR.

Ranje a se 90 SCCM ~ 110 SCCM, ranje a presyon se 90 mTOR ~ 110 mTOR, ak pouvwa a patipri se

540W ～ 660W。